Opintojakso

Näytä opetustapahtumat
3313004 Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät, 4 op 
Tunniste 3313004  Voimassaolo 01.05.2013 -
Nimi Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät  Lyhenne Optinen mittaam 
Laajuus4 op  Vanhenemisaika  
TyyppiTieteell. jatkokoulutus Oppiaine0520 Fysiikka 
LajiOpintojakso  Tuntimäärä  
Opinto-oikeus   ArvosteluHYL-HYV 
Suositeltu suoritusaika 
   
Vastuuyksikkö Fysiikka ja matematiikka (J) 

Opettajat
Nimi
Pertti Pääkkönen 

Kuvaus:
Osaamistavoitteet 

Opiskelija ymmärtää mittaamiseen liittyvän epätarkkuuden, mittalaitteen kalibroinnin sekä virheanalyysin perusteet. Opiskelija oppii erilaisten mikro- ja nanometrikokoluokan rakenteiden valmistusmenetelmien perusteet.

 
Sisältö 

Kurssilla perehdytään erityisesti optiseen mittaamiseen, siihen liittyviin epävarmuus- ja virhelähteisiin sekä näiden kalibroimiseen. Lisäksi tutustutaan moderneihin valmistusmenetelmiin, kuten elektronisuihku- ja fotolitografiaan, reaktiiviseen ionietsaukseen sekä näiden mahdollisuuksiin sekä rajoitteisiin.

 
Suoritustavat 

Osanotto luento-opetukseen sekä aiheeseen liittyviin harjoituksiin.

 
Toteutustavat 

Luentoja 22 h sekä harjoitukset 16 h.

 
Oppimateriaalit 

Kurssilla jaettava materiaali, alan kirjallisuus.

 
Arvosteluperusteet 

Hyväksytty / hylätty.

 
Opettajat 

Tommi Hakala, Pertti Pääkkönen.

 
Edellytykset 

Maisteriopinnot.

 
Ajankohta 

Jatko-opinnot.

 
Tarjontatieto 

Luennoidaan joka vuosi.

 
Avainsanat 

Mittaaminen, mittausepävarmuus, kalibrointi, litografia, reaktiivinen ionietsaus.

 
Kampus 

Joensuun kampus

 
Lisätietoja 

Opetuskieli englanti. Luennoidaan periodissa 4.

 


Kirjainlyhenne opetustapahtuman nimen edessä tarkoittaa kampusta, jolla opetus tai tentti järjestetään: J = Joensuu, K = Kuopio.

Meneillä oleva ja tuleva opetus
Toiminnot Nimi Tyyppi op Opettaja Aikataulu
ilmoittautuminen päättynyt J: Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät  Luento- ja harjoituskurssi  Pertti Pääkkönen  01.09.20 -15.12.20

Tulevat tentit
Ei yleisiä tenttejä WebOodissa