Opintojakso

Näytä opetustapahtumat
3313004 Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät, 4 op 
Tunniste 3313004  Voimassaolo 01.05.2013 -
Nimi Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät  Lyhenne Optinen mittaam 
Laajuus4 op  Vanhenemisaika  
TyyppiTieteell. jatkokoulutus Oppiaine0520 Fysiikka 
LajiOpintojakso  Tuntimäärä  
Opinto-oikeus   ArvosteluHYL-HYV 
Suositeltu suoritusaika 
   
Vastuuyksikkö Fysiikka ja matematiikka (J) 

Opettajat
Nimi
Pertti Pääkkönen 

Kuvaus:
Osaamistavoitteet 

Opiskelija ymmärtää mittaamiseen liittyvän epätarkkuuden, mittalaitteen kalibroinnin sekä virheanalyysin perusteet. Opiskelija oppii erilaisten mikro- ja nanometrikokoluokan rakenteiden valmistusmenetelmien perusteet.

 
Sisältö 

Kurssilla perehdytään erityisesti optiseen mittaamiseen, siihen liittyviin epävarmuus- ja virhelähteisiin sekä näiden kalibroimiseen. Lisäksi tutustutaan moderneihin valmistusmenetelmiin, kuten elektronisuihku- ja fotolitografiaan, reaktiiviseen ionietsaukseen sekä näiden mahdollisuuksiin sekä rajoitteisiin.

 
Suoritustavat 

Osanotto luento-opetukseen sekä aiheeseen liittyviin harjoituksiin.

 
Toteutustavat 

Luentoja 22 h sekä harjoitukset 16 h.

 
Oppimateriaalit 

Kurssilla jaettava materiaali, alan kirjallisuus.

 
Arvosteluperusteet 

Hyväksytty / hylätty.

 
Opettajat 

Tommi Hakala

 
Edellytykset 

Maisteriopinnot.

 
Ajankohta 

Jatko-opinnot.

 
Tarjontatieto 

Luennoidaan joka vuosi.

 
Avainsanat 

Mittaaminen, mittausepävarmuus, kalibrointi, litografia, reaktiivinen ionietsaus.

 
Kampus 

Joensuun kampus

 
Lisätietoja 

Opetuskieli englanti. Luennoidaan periodissa 1-2.

 


Kirjainlyhenne opetustapahtuman nimen edessä tarkoittaa kampusta, jolla opetus tai tentti järjestetään: J = Joensuu, K = Kuopio.

Meneillä oleva ja tuleva opetus
Toiminnot Nimi Tyyppi op Opettaja Aikataulu
ilmoittautuminen päättynyt J: Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät  Luento- ja harjoituskurssi  Tommi Hakala  21.09.21 -14.12.21

Tulevat tentit
Ei yleisiä tenttejä WebOodissa