3313004 Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät, 4 op
| Tunniste |
3313004 |
Voimassaolo |
01.05.2013 -
|
| Nimi |
Optinen mittaaminen sekä valmistusmenetelmät |
Lyhenne |
Optinen mittaam |
| Laajuus | 4 op |
Vanhenemisaika |
|
| Tyyppi | Tieteell. jatkokoulutus |
Oppiaine | 0520 Fysiikka |
| Laji | Opintojakso |
Tuntimäärä |
|
| Opinto-oikeus |
|
Arvostelu | HYL-HYV |
| Suositeltu suoritusaika | |
| |
| |
|
| |
| Vastuuyksikkö |
Fysiikka ja matematiikka (J) |
|
Opettajat
Kuvaus:
| Osaamistavoitteet |
Opiskelija ymmärtää mittaamiseen liittyvän epätarkkuuden, mittalaitteen kalibroinnin sekä virheanalyysin perusteet. Opiskelija oppii erilaisten mikro- ja nanometrikokoluokan rakenteiden valmistusmenetelmien perusteet. |
| Sisältö |
Kurssilla perehdytään erityisesti optiseen mittaamiseen, siihen liittyviin epävarmuus- ja virhelähteisiin sekä näiden kalibroimiseen. Lisäksi tutustutaan moderneihin valmistusmenetelmiin, kuten elektronisuihku- ja fotolitografiaan, reaktiiviseen ionietsaukseen sekä näiden mahdollisuuksiin sekä rajoitteisiin. |
| Suoritustavat |
Osanotto luento-opetukseen sekä aiheeseen liittyviin harjoituksiin. |
| Toteutustavat |
Luentoja 22 h sekä harjoitukset 16 h. |
| Oppimateriaalit |
Kurssilla jaettava materiaali, alan kirjallisuus. |
| Arvosteluperusteet |
Hyväksytty / hylätty. |
| Opettajat |
Tommi Hakala, Pertti Pääkkönen. |
| Edellytykset |
Maisteriopinnot. |
| Ajankohta |
Jatko-opinnot. |
| Tarjontatieto |
Luennoidaan joka vuosi. |
| Avainsanat |
Mittaaminen, mittausepävarmuus, kalibrointi, litografia, reaktiivinen ionietsaus. |
| Kampus |
Joensuun kampus |
| Lisätietoja |
Opetuskieli englanti. Luennoidaan periodissa 4. |
|
Kirjainlyhenne opetustapahtuman nimen edessä tarkoittaa kampusta, jolla opetus tai tentti järjestetään: J = Joensuu, K = Kuopio.
Meneillä oleva ja tuleva opetus
Tulevat tentit
| Ei yleisiä tenttejä WebOodissa |
